Исследование синергии высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия в титан и энергетического воздействия на поверхность

Авторы

  • Александр Ильич Рябчиков
  • Ольга Сергеевна Корнева
  • Ирина Александровна Курзина
  • Владислав Александрович Тарбоков

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2023_5313131

Ключевые слова:

Вакуумная дуга;, плазма, высокая интенсивность, ионная имплантация, энергетическое воздействие, синергия

Аннотация

В работе исследована синергия высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия и последующего воздействия мощного импульсного ионного пучка на микроструктуру и свойстватитана. Образцы титана имплантировали один час при температуре 1170 К с флюенсом ионов 1021 ион/см2. Были получены слои толщиной около 150 мкм. Энергетическое воздействиеосуществлялось мощным наносекундным импульсным ионным пучком с плотностью ионного тока на мишени 100 А/см2. В работе представлены данные об изменении элементного состава,морфологии поверхности и микроструктуры ионно-легированных и энергомодифицированных слоев. Установлено, что дополнительное энергетическое воздействие на ионно-легированный слой мощного импульсного пучка улучшает микроструктуру на глубину более 3,4 мкм.Синергия высокоинтенсивной ионной имплантации алюминия и энергетическое воздействиеимпульсного ионного пучка повышает износостойкость титана в восемнадцать раз.

Загрузки

Опубликован

2023-06-12

Как цитировать

Рябчиков A. I. ., Корнева O. S. ., Курзина I. A. ., & Тарбоков V. A. (2023). Исследование синергии высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия в титан и энергетического воздействия на поверхность. Materials. Technologies. Design, 5(3 (13), 131–142. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_5313131