Повышение равномерности толщины покрытия TiN из плазмы вакуумно-дугового разряда на имитаторе блиска

Аннотация

При нанесении покрытия на сложнопрофильные изделия возникает неравномерность толщины покрытия, которая может превышать установленный конструкторской документациейдопуск. Одним из примеров таких случаев является блиск. Литературные данные свидетельствуют о неравномерности толщины на внутренних поверхностях до четырех раз в сравнениис внешними. В данной работе при помощи имитационной модели Монте-Карло равномерность толщины покрытия на имитаторе блиска из трех лопаток повышена с 0,5–9 мкм по базовой технологии до 2–8,5 мкм по оптимизированной. Измерения на образцах продемонстрировали при этом существенныйрост микротвердости покрытия в среднем на 30% с 920–1300до 1300–1900 HV0,05. Адгезионная прочность и шероховатость не претерпели существенныхизменений.