Многослойные пленки системы Cu-Nb, сформированные на подложке вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом

Авторы

  • Юрий Федорович Иванов ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0001-8022-7958
  • Никита Андреевич Прокопенко ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0002-9381-872X
  • Елизавета Алексеевна Петрикова ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0002-1959-1459
  • Ольга Васильевна Крысина ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0001-9265-2644
  • Юрий Халяфович Ахмадеев ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0001-8084-2854
  • Мария Евгеньевна Рыгина ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0002-9514-7739
  • Олег Сергеевич Толкачёв ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН https://orcid.org/0000-0001-7816-9920

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2025_7322118

Ключевые слова:

псевдосплав медь-ниобий, система «пленка/подложка», вакуумно-дуговой плазменно-ассистированный метод, фазовый состав, дефектная субструктура, свойства

Аннотация

Система Cu-Nb из-за значительного несоответствия параметров кристаллических решеток меди и ниобия, а также большой разницы температур плавления, относится к несмешиваемым в твердой фазе системам и поэтому признаку определяется, как псевдосплав. Большое количество межфазных границ, формирующихся при кристаллизации псевдосплава, придает ему исключительные механические, электрические, термические и многие другие свойства. Сфера применения псевдосплавов обширна: электронные устройства, материалы для аэрокосмических и ядерных установок, медицина. В работе представлены результаты, полученные при исследовании структуры и свойств пленок системы Cu-Nb, сформированных вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом на поверхности образцов титанового сплава ВТ6 и твердого сплава ВК8. Показано, что пленки Cu-Nb являются многослойным двухфазным (медь и ниобий) аморфно-кристаллическим материалом. Микротвердость пленок составляет 6,8 ГПа, что кратно (более чем в 5 раз) превышает микротвердость поликристаллического ниобия; параметр износа (величина, обратная износостойкости) k = 2,2·10-5 мм3Н-1м-1, что в ≈25 раз меньше параметра износа чистой меди.

Загрузки

Опубликован

2025-06-12

Как цитировать

Иванов, Ю. Ф., Прокопенко, Н. А., Петрикова, Е. А., Крысина, О. В., Ахмадеев, Ю. Х., Рыгина, М. Е., & Толкачёв, О. С. (2025). Многослойные пленки системы Cu-Nb, сформированные на подложке вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом. Materials. Technologies. Design, 7(3 (22), 118–125. https://doi.org/10.54708/26587572_2025_7322118