Влияние геометрического положения подложки на свойства хромовых покрытий, осажденных методом магнетронного распыления - Оруджов, Эльвин Эльшад оглы; Блейхер, Галина Алексеевна (Materials. Technologies. Design, 2023)
При магнетронном напылении присутствует множество факторов, которые потенциально могут влиять на свойства покрытий. Относительное расположение подложки относительно мишени магнетрона определяет угол падения потока и скорость осаждения. Этот угол может меняться со временем в процессе осаждения. Важным вопросом, который необходимо решить, является то, как эти изменения, вызванные положением подложки, влияют на получаемые покрытия и их свойства. Для изучения этого вопроса была проведена серия экспериментов. В ходе эксперимента варьировались расстояние между подложкой и мишенью, угол падения и режимы вращения. Был проведен расчет и экспериментальное определение скоростей осаждения, а также рентгеноструктурный анализ полученных покрытий. Было показано, что снижение скорости осаждения приводит к образованию (200) и (211) Cr в покрытиях, тогда как высокоскоростные режимы осаждения показывают преобладание (100) Cr, что также может быть достигнуто за счёт осевого и планетарного вращения.