Брюханова , Ю.А. , Меньшаков, А.И. и Скорынина, П.А. 2023. Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. Materials. Technologies. Design. 5, 4 (14) (дек. 2023), 7–13. DOI:https://doi.org/10.54708/26587572_2023_54147.