Оскирко, В.О. , Захаров, А.Н. , Гренадеров, А.С. , Семенов, В.А. и Соловьев, А.А. 2023. Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности. Materials. Technologies. Design. 5, 4 (14) (дек. 2023), 70–79. DOI:https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541470.