Гурулев A.V. , Иванова А.I. , Вахрушев D.О. , Корнева О.S. , Ефимов D.D. и Чернышев, А.А. 2024. Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность. Materials. Technologies. Design. 6, 1 (16) (май 2024), 91–96. DOI:https://doi.org/10.54708/26587572_2024_611691.