Назаров, А. Ю.; Маслов, А. А.; Николаев, А. А.; Варданян, . Э. Л. . ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СТРУКТУРУ И ФРАЗОВЫЙ СОСТАВ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНАТОВ ИТТРИЯ. MTD 2022, 4, 31-37.