Каменецких, А. С.; Гаврилов, Н. В. .; Ершов, А. А. .; Третников, П. В. . Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления. MTD 2023, 5, 30-41.