Брюханова , Ю. А. .; Меньшаков, А. И. .; Скорынина, П. А. . Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом. MTD 2023, 5, 7-13.