Оскирко, В. О. .; Захаров, А. Н. .; Гренадеров, А. С. .; Семенов, В. А. .; Соловьев, А. А. . Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности. MTD 2023, 5, 70-79.