Семенов, В. А. .; Работкин, С. В. .; Пуговкин, М. М. .; Ковшаров, Н. Ф. .; Шипилова, А. В. .; Соловьев, А. А. . Вакуумная установка для ионно-плазменного осаждения электролита твердооксидных топливных элементов. MTD 2023, 5, 113-121.