ОСКИРКО, В. О. .; ЗАХАРОВ, А. Н. .; ГРЕНАДЕРОВ, А. С. .; СЕМЕНОВ, В. А. .; СОЛОВЬЕВ, А. А. . Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности. Materials. Technologies. Design, [S. l.], v. 5, n. 4 (14), p. 70–79, 2023. DOI: 10.54708/26587572_2023_541470. Disponível em: http://194.190.227.39/index.php/mtd/article/view/3726. Acesso em: 15 ноя. 2024.