[1]
А. С. Каменецких, Н. В. . Гаврилов, А. А. . Ершов, и П. В. . Третников, «Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления», MTD, т. 5, вып. 4 (14), сс. 30–41, дек. 2023.