[1]
Ю. А. . Брюханова, А. И. . Меньшаков, и П. А. . Скорынина, «Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом», MTD, т. 5, вып. 4 (14), сс. 7–13, дек. 2023.