[1]
Гурулев A. V. ., Иванова А. I. ., Вахрушев D. О. ., Корнева О. S. ., Ефимов D. D. ., и А. А. . Чернышев, « Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность», MTD, т. 6, вып. 1 (16), сс. 91–96, май 2024.