Гурулев Alexandr Valerevich, Иванова Аnna Ivanovna, Вахрушев Dimitri Оlegovich, Корнева Оlga Sergeevna, Ефимов Dmitri Davidovich, и Чернышев Аrtem Аlexeyevich. «Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность». Materials. Technologies. Design 6, no. 1 (16) (май 3, 2024): 91–96. просмотрено ноябрь 15, 2024. http://194.190.227.39/index.php/mtd/article/view/3872.