Назаров АЮ, Маслов АА, Николаев АА, Варданян ЭЛ. ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СТРУКТУРУ И ФРАЗОВЫЙ СОСТАВ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНАТОВ ИТТРИЯ. MTD [Интернет]. 7 октябрь 2022 г. [цитируется по 15 ноябрь 2024 г.];4(3(9):31-7. доступно на: http://194.190.227.39/index.php/mtd/article/view/3395