Оскирко ВО, Захаров АН, Гренадеров АС, Семенов ВА, Соловьев АА. Зависимость потока энергии на подложку от длительности импульсов разрядного тока и потенциала смещения в процессе магнетронного распыления меди импульсами высокой мощности. MTD [Интернет]. 12 декабрь 2023 г. [цитируется по 15 ноябрь 2024 г.];5(4 (14):70-9. доступно на: http://194.190.227.39/index.php/mtd/article/view/3726