Гурулев AV, Иванова АI, Вахрушев DО, Корнева ОS, Ефимов DD, Чернышев АА. Модификация кремния в условиях синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана и энергетического воздействия мощного ионного пучка на поверхность. MTD [Интернет]. 3 май 2024 г. [цитируется по 15 ноябрь 2024 г.];6(1 (16):91-6. доступно на: http://194.190.227.39/index.php/mtd/article/view/3872