Магнетронное распыление мишени из МАХ-фаз системы Ti-Al-C

Авторы

  • Фершалов Григорий Ростиславович Республиканская полилингвальная многопрофильная гимназия №2 «СМАРТ»
  • Николаев Алексей Александрович ФГБОУ ВО «Уфимский университет науки и технологий»
  • Рамазанов Камиль Нуруллаевич Академия наук Республики Башкортостан

Ключевые слова:

покрытия, МАХ-фазы, жаростойкие покрытия, магнетронное распыление

Аннотация

Реактивное магнетронное распыление (Reactive Magnetron Sputtering) является одной из самых распространенных технологий нанесения тонких пленок (thin films) на покрытия. МАХ-фазы представляют собой группу тройных гексагональных карбидов и нитридов. Магнетронное напыление является наиболее распространенным методом получения функциональных покрытий из МАХ-фаз благодаря сравнительной простоте метода, высокой гибкости и хорошему контролю над составом получаемого материала. Были проведены исследования с использованием растрового электронного микроскопа, которые помогли детальнее изучить как свойства метода, так и свойства жаростойких покрытий.

Биографии авторов

Фершалов Григорий Ростиславович, Республиканская полилингвальная многопрофильная гимназия №2 «СМАРТ»

ученик 10А класса

Николаев Алексей Александрович, ФГБОУ ВО «Уфимский университет науки и технологий»

к.т.н., доцент кафедры ТМ

Рамазанов Камиль Нуруллаевич, Академия наук Республики Башкортостан

д.т.н., президент Академии наук РБ

Загрузки

Опубликован

2026-16-01

Выпуск

Раздел

Технические науки