Взаимодействие потоков частиц с поверхностью конструкционных материалов при ионно-плазменном азотировании

Abstract

Рассматривается процесс ионного азотирования в плазме тлеющего разряда с эффектом полого катода. Применение этого эффекта приводит к интенсификации процессов, происходящих при ионном азотировании, за счет повышения плотности тока.