Оптимизация геометрических параметров мишени магнетрона по критерию минимизации неравномерности напыления

Authors

  • Flyur Rashitovich Ismagilov
  • Denis Vilevich Maksudov

Keywords:

Движение заряженных частиц в скрещенных электрических и магнитных полях; магнетронное напыле ние нанопокрытий; нанотехнологии; равномерность напыления

Abstract

Приводится математическая модель процесса напыления  в магнетронной распылительной системе (МРС), показана возможность  минимизации неравномерности напыления путем численных экспериментов  и выбора оптимальных геометрических параметров мишени.

Downloads

Published

2018-29-08

Issue

Vol. 15 No. 1 (41) (2011): Вестник УГАТУ

Section

******************************