Математическое моделирование процесса магнетронного распыления
Ключевые слова:
магнетронное распыление; производительность; оптимизация; рабочее давление; параметрические зависимости.Аннотация
Представлены результаты экспериментальных исследований по получению математической модели скорости процесса магнетронного распыления, на основе которых предлагается способ повышения интенсивности процесса за счет оптимизации давления газа в вакуумной камере по скорости распыления.
Загрузки
Опубликован
2018-19-10
Выпуск
Раздел
******************************
