Определение и прогнозирование температуры нагрева изделия в процессе ионно-плазменного азотирования
Ключевые слова:
азотирование; плазма; математическая модель азотирования; моделирование процессов ионно-плазменной обработки; температура подложки; прогнозирование температуры; газовая смесь; полный факторный эксперимент; ПФЭ.Аннотация
С целью обеспечения контроля над процессом ионно-плазменного азотирования и уменьшения потерь времени на его прогнозирование разработана математическая модель влияния внешних факторов на температуру подложки. В ходе работы применялись методы полного факторного эксперимента и «черного ящика». Полученная модель позволяет определять и прогнозировать температуру детали с точностью в 92%. Универсальность модели позволяет работать с различными газовыми средами вида N-H-Ar и N-Ar. Установлено, что наибольшее влияние на величину нагрева детали при ионно-плазменном азотировании оказывает значение приложенной разности потенциалов
Загрузки
Опубликован
2018-06-04
Выпуск
Раздел
МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ
