Синтез покрытий изнитридов и карбидов интерметаллида систем Ti–Al конденсацией плазменных потоков, генерируемых вакуумной дугой

Аннотация

Рассматриваются результаты исследований покрытий, формируемых с помощью вакуумной дуги с интегрально-холодным катодом. Обсуждаются результаты взаимодействия потоков титана и алюминия на холодных и горячих подложках в среде различных газов. Осажденные покрытия исследовались с помощью рентгеноструктурного и оптического методов исследования. Установлено, что покрытия состоятиз Ti, Al, интерметаллида Ti–Al, нитридов и карбидов интерметаллида Ti–Al.