Ленточный источник электронного пучка, функционирующий в широком диапазоне давлений

Авторы

  • Александр Сергеевич Климов
  • Илья Юрьевич Бакеев
  • Жоэль-Эрик Дагри
  • Анна Викторовна Долгова
  • Алексей Александрович Зенин
  • Ефим Михайлович Окс

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2023_531328

Ключевые слова:

Эмиссия из плазмы, плотность тока, однородность, форвакуум, источник ленточного пучка

Аннотация

Представлена конструкция и основные параметры электронного источника, формирующеголенточный электронный пучок в диапазоне давлений от 10–2 до 10 Па. Ток пучка достигает450 мА при энергии электронов пучка до 8 кВ. Размеры электронного пучка в поперечномсечении 10×220 мм2. Рабочие газы – гелий, аргон, остаточная атмосфера. Расширение диапазона давлений обеспечивается использованием двух разрядных систем – основной и вспомогательной, между которыми существует перепад давлений. Вспомогательная разрядная системафункционирует при давлении единицы паскаль и служит поставщиком заряженных частицдля поддержания разряда в основной системе, работающей в высоком вакууме. Как в основной, так и вспомогательной системах используются тлеющие разряды с полым катодом. Однородность распределения тока пучка по его сечению обеспечивается использованием специальной конструкции эмиссионного электрода, расположенного в аноде основной разряднойсистемы. Степень неоднородности распределения плотности тока электронного пучка не превышает 15% по длине. Полученные параметры электронного пучка являются перспективными с точки зрения генерации пучковой плазмы, инициирования пучково-плазменного разрядаи использования его для реализации плазмохимической обработки материалов.

Загрузки

Опубликован

2023-06-12

Как цитировать

Климов, А. С. ., Бакеев, И. Ю. ., Дагри, Ж.-Э. ., Долгова, А. В. ., Зенин, А. А. ., & Окс, Е. М. (2023). Ленточный источник электронного пучка, функционирующий в широком диапазоне давлений. Materials. Technologies. Design, 5(3 (13), 28–34. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_531328