Газо-металлические пучково-плазменные образования для нанесения упрочняющих покрытий

Авторы

  • Михаил Викторович Савчук
  • Владимир Викторович Денисов
  • Сергей Сергеевич Ковальский
  • Андрей Андреевич Леонов
  • Владимир Егорович Прокопьев
  • Александр Николаевич Шмаков

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2023_5515103

Ключевые слова:

Вакуумно-дуговой разряд, напыление покрытия, тлеющий разряд, пучково-плазменное образование

Аннотация

Вакуумно-дуговой метод напыления покрытий – один и из наиболее распространенных методов нанесения нитридных тонкопленочных покрытий. В данной работе методом эмиссионной спектроскопии проводилось исследование состава газо-металлического пучково-плазменного образования, сформированного в полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда при одновременной работе вакуумно-дуговых испарителей. Также приводятся результаты напыления в двух разрядных схемах: классической схеме вакуумно-дугового напыления с плазменным ассистированием и полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда с внешней инжекцией электронов. В обеих схемах в качестве генераторов металлической плазмы используются два электродуговых испарителя. В качестве материалов катодов используются алюминиевый и титановый катоды. В работе проведено сравнение результатов напыления композиционного покрытия системы (ZrTiBSiNi)N. Согласно результатам измерений, значения твердости составили 41 ГПа при осаждении в классической разрядной схеме и 47,8 ГПа при осаждении в газо-металлическом пучково-плазменном формовании, сформированном в полом катоде несамостоятельного тлеющего разряда.

Загрузки

Опубликован

2023-12-12

Как цитировать

Савчук, М. В., Денисов , В. В., Ковальский , С. С., Леонов , А. А., Прокопьев , В. Е., & Шмаков , А. Н. (2023). Газо-металлические пучково-плазменные образования для нанесения упрочняющих покрытий. Materials. Technologies. Design, 5(5 (15), 103–112. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_5515103