Дуговое напыление покрытий на основе оксида алюминия в элионном режиме

Аннотация

Проведены эксперименты по синтезу покрытия на основе оксида алюминия с использованием электродугового осаждения и бессеточной системы ускорения ионов. Исследования проводились на экспериментальном стенде на базе установки ННВ-6.6-И1 с использованием двух генераторов плазмы: ПИНК для генерации газовой плазмы и дугового испарителя с катодом из алюминиевого сплава А7 для генерации газометаллической плазмы. Температуру подложки задавали с помощью элионного режима работы плазмофизических устройств. Показана возможность нанесения непроводящего покрытия на основе оксида алюминия при поддержании заданной температуры за счет использования элионного режима работы системы. Проведено исследование фазового состава полученных пленок и его изменение в зависимости от температуры подложки и других условий напыления. Важно отметить, что во время осаждения к подложке не прикладывалось отрицательное смещение. Температура подложки влияла на фазовый состав получаемого покрытия.