Вернуться к Подробностям о статье
Особенности формирования пучков ионов титана с учетом ионно-электронной эмиссии, при котором реализуется синергия высокоинтенсивной ионной имплантации и импульсного энергетического воздействия на поверхность
Скачать
Скачать PDF