Влияние напряжения смещения при плазменно-ассистированном ВЧ-распылении порошковой мишени AlMgB14

Аннотация

В данной работе приведены результаты исследования покрытий состава AlMgB14, полученных методом плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения из порошковых материалов. Система состоит из мишени диаметром 200 мм с порошковым материалом, из которого наносятся покрытия, и генератора газовой плазмы «ПИНК». Система позволяет понизить давление нанесения покрытий, значительно повысить скорость нанесения покрытия и позволяет управлять свойствами наносимых покрытий за счет плазменного ассистирования в процессе осаждения. Исследования проводились на установке электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности «КОМПЛЕКС», разработанной в лаборатории плазменной эмиссионной электроники ИСЭ СО РАН. Были исследованы покрытия состава AlMgB14, полученные методом плазменно-ассистированного ВЧ-нанесения в вакууме. Все данные были получены для пяти опытных образцов покрытий состава AlMgB14, одного опытного образца покрытия состава AlMgB14+30%TiB2 и одного опытного образца покрытия состава AlMgB14+70%TiB2.