Оценка и расчет параметров систем генерации пучково-плазменных образований, синтезированных в сильноточном несамостоятельном тлеющем разряде с полым катодом

Аннотация

В работе представлены методы оценки и расчета параметров систем генерации пучково-плазменных образований (ППО) для технологического использования в процессах ионно-плазменной обработки поверхности конструкционных и инструментальных материалов. Основными количественными параметрами, обеспечивающими необходимые эксплуатационные параметры и характеристики создаваемых источников плазмы и электронно-ионно-плазменного оборудования в целом, являются концентрация газоразрядной плазмы, а также связанные с ней плотность ионного тока и плотность электронного тока. Системы генерации пучково-плазменных образований, используемые в технологических целях обработки поверхности материалов и изделий, удобно рассчитывать исходя из требуемого значения плотности тока ионов, ускоряемых к поверхности обрабатываемых изделий. В работе представлены схемы и конструкции экспериментальных образцов систем генерации пучково-плазменных образований (ППО) на основе сильноточного несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом низкого давления, рассчитанные и созданные на основе описанной методики расчета.