Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления

Авторы

  • Александр Сергеевич Каменецких
  • Николай Васильевич Гаврилов
  • Алексей Анатольевич Ершов
  • Петр Васильевич Третников

DOI:

https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541430

Ключевые слова:

Твердый электролит, LiPON, анодное испарение, ионная проводимость

Аннотация

Тонкие пленки твердотельных литий-ионных электролитов перспективны для использованияв малогабаритных автономных источниках питания для элементов микро- и наноэлектроники.Высокая скорость вакуумно-плазменного синтеза (~0,5 мкм/ч) пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) с ионной проводимостью ~2·10–6 (Ом·см)–1 обеспечивается методом анодногоиспарения Li3PO4 в дуге низкого давления. На микроструктуру и ионную проводимость пленокLiPON в значительной степени влияет доля свободного лития в потоке пара, которая регулируется изменением частоты взаимодействия электронов с испаряемыми частицами. В даннойработе представлены результаты исследования условий анодного испарения Li3PO4 в потокеэлектронов из плазмы разряда с самонакаливаемым полым катодом и влияния свободного лития в парогазовой смеси на свойства осаждаемых пленок LiPON.

Загрузки

Опубликован

2023-12-12

Как цитировать

Каменецких, А. С., Гаврилов, Н. В. ., Ершов, А. А. ., & Третников, П. В. . (2023). Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления. Materials. Technologies. Design, 5(4 (14), 30–41. https://doi.org/10.54708/26587572_2023_541430

Выпуск

Том 5 № 4 (14) (2023): Materials. Technologies. Design

Раздел

Статьи